Нанопоры на уровне пластины, изготовленные с использованием экстремальной ультрафиолетовой литографии
На ежегодной конференции IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM 2025) компания imec, специализирующаяся на передовых полупроводниковых технологиях, представила первый успешный пример изготовления нанопор на уровне пластины с использованием экстремальной ультрафиолетовой (EUV) литографии. Нанопоры — это крошечные отверстия шириной всего в несколько нанометров, вытравленные в мембранах из нитрида кремния. Погружённые в жидкость и подключённые к электродам, … Читать далее